Компания «САВТЭК» – российский производитель вакуумного технологического и испытательного оборудования

В 2024-2025 годах специалисты «САВТЭК» разработали серию установок для термической обработки и диффузии примесей

Одна из таких - однотрубная горизонтальная печь для процесса высокотемпературного отжига при атмосферном давлении FALCON 100.

Применяется для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов. Печи для атмосферной и вакуумной обработки, LPCVD и MOCVD процессов.

Конструкция печей обеспечивает высокую производительность при небольших размерах установки, низкую стоимость эксплуатации при высокой гибкости технологических процессов. Такие печи широко применяются на микроэлектронных предприятиях России для обработки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм при атмосферном или пониженном давлении и температуре до 1150 °С.

Ознакомиться с новинками компании «САВТЭК» можно на стенде С1045 в павильоне 3, зале 15. Получите бесплатный билет на выставку по промокоду EENEWS