Технология SiC для силовой электроники: экспертиза ТТМ на ExpoElectronica

Узнайте больше об участнике выставки и получите бесплатный билет по промокоду EENEWS

Развитие силовой электроники сегодня напрямую связано с применением новых полупроводниковых материалов. Одним из наиболее перспективных является карбид кремния (SiC), который позволяет создавать устройства, работающие при более высоких температурах, напряжениях и частотах по сравнению с традиционными кремниевыми решениями.

Компания ТТМ, специализируется на поставке технологического оборудования для микроэлектронных производств, в том числе и для технологий, связанных с использованием SiC.

От монокристалла до эпитаксиальной пластины

Производство устройств на основе карбида кремния представляет собой сложный многоэтапный технологический процесс. Он включает выращивание монокристаллов, изготовление пластин, механическую и химическую обработки, полировку, эпитаксиальный рост и последующие процессы формирования структур микросхем.

Особое значение имеют начальные этапы — получение монокристаллов SiC, резка и подготовка пластин, а также формирование эпитаксиального слоя. Именно на этих стадиях закладываются основные характеристики будущих приборов: качество кристаллической структуры, дефектность материала и электрические параметры устройств.

Высокие требования к точности процессов и чистоте материалов делают выбор правильного технологического оборудования одним из ключевых факторов развития производства силовой электроники.

Перспективы SiC в микроэлектронике

Рост спроса на силовые компоненты обусловлен развитием энергетики, электротранспорта, телекоммуникаций и промышленной электроники. Использование карбида кремния позволяет значительно повысить эффективность силовых устройств, уменьшить тепловые потери и увеличить рабочие параметры приборов. Поэтому всё больше внимания уделяется развитию технологий, необходимых для производства SiC-пластин и эпитаксиальных структур на них.

Приглашаем на стенд ТТМ

На выставке ExpoElectronica специалисты компании ТТМ будут рады встретиться с представителями отрасли, обсудить технологические задачи предприятий, перспективы развития микроэлектронных производств и возможные решения для реализации проектов.

Команда ТТМ приглашает посетителей на свой стенд № D7113, Павильон 3, Зал 15, чтобы лично пообщаться, обменяться опытом и найти оптимальные подходы к современным задачам отрасли.