ООО «Остек-Электро»

Система для измерения удельного и поверхностного сопротивления ИУС-7Р

Система измерения удельного, поверхностного сопротивления пластин ИУС-7Р является единственной, включенной в реестр российской продукции в соответствии с требованиями 719ПП (878ПП). Внесена в государственный реестр средств измерения как самостоятельный программно-аппаратный комплекс.

При этом каждое из комплектующих этой станции является самостоятельным продуктом, также сертифицированным надлежащим образом (4х зондовая станция Семизонд 4К, Микроомметр Е6-42 и ПО Кристалл).

Ни одна подобная система, кроме ИУС-7Р, не выпускается серийно с кратчайшими сроками поставки.

Сферы применения:

• Микроэлектроника
• Кристальное производство
• Полупроводниковые материалы

Станция применяется для оперативного контроля качества полупроводниковых пластин на предмет однородности и повторяемости электрических параметров.

Измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления ИУС-7Р - метрологически аттестованный программно-аппаратный комплекс (ПАК) предназначен для измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления на пластинах диаметром до 300 мм.

Особенности:

• Измерения четырехзондовым методом (методом Кельвина) удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых или металлических образцов диаметром до 300 мм.

• Зондовая станция Семизонд (Semizond) 4К

• Микроомметр Е6-42 (внесен в Госреестр СИ РФ)

• ПО «Кристалл» для автоматического расчета удельного и поверхностного сопротивления с учетом размеров образца согласно стандарту ASTM F84-99.

• Диапазон измерений от 4 мОм/□ до 900 МОм/□ для поверхностного сопротивления

• Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УПЭС, % ±1

• Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм: для головки ТС ±0,01; для головки BeCu ±0,05

Программное обеспечение «Кристалл»:

• управление источником-измерителем по RS-232, LXI (LAN), USB;

• задание параметров пластины;

• задание режима измерений (карта сопротивлений или непрерывный режим);

• расчет удельного и поверхностного сопротивления согласно стандарту ASTM F84-99;

• составление отчета в автоматическом режиме.

Большая часть комплектующих производится на территории России, сборка, настройка и регулярное усовершенствование системы осуществляется силами Остек-Электро.

Освоено серийное производство на собственной промышленной площадке и обеспечен складской запас для оперативного обслуживания парка поставленного оборудования.

Результаты сличения с аналогами подтвердили более точные метрологические характеристики ИУС-7Р на эталонных образцах продукции заказчиков.

Наличие ИУС-7Р в реестре российской электронной продукции позволяет нашим заказчикам в кратчайшие сроки проводить закупочные процедуры в рамках 1875ПП.

Еще до освоения серийного производства в Остек-Электро поступило более 50 запросов на поставку ИУС-7Р. За прошедшие 2 года в отрасли были внедрены более 15 систем. Регулярно поступают запросы на снижение срока производства, поэтому на данный момент станции поставляются со сроком, не превышающим один месяц.

Объем поставок и текущих заказов превысил 50 млн. рублей с момента выпуска первого образца в 2022 году. Организовано 4 высокотехнологичных рабочих места. Ожидаемый объем заказов на 2025 год более 20 станций на сумму свыше 60 млн. рублей.

ostec-electro.ru